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一种用于非晶碳沉积工艺中的清洗方法

来源:网络整理 作者:admin 人气: 发布时间:2018-10-07
摘要:

一种无固定形状的碳淤积术语的洗涤方式
【专利品摘要】本捏造:内心捏造的东西关涉一种无固定形状的碳淤积术语的洗涤方式,包罗在血浆条款对血浆腔体举行预洗涤术语踏S1和对血浆腔体淤积环保薄膜术语踏S2;踏S2详细包罗C2H2、Ar和He的毒气被送入血浆体室。,淤积了具有率先厚度的氮掺杂无固定形状的碳膜。,也牵制C2H2和N2的毒气进入血浆体室。,具有第二的厚度的氮掺杂无固定形状的碳膜层为GRO。;内部的,第二的厚度决不率先厚度。。去,本捏造:内心捏造的东西防止了刻反面的铝玷污。,也刻状态轻易使发散的成绩。。
【专利品阐明】一种无固定形状的碳淤积术语的洗涤方式
[技术]
[0001]本捏造:内心捏造的东西关涉集成电路创造[技术],更详细地说,它关涉血浆体高处物质的化学组成气相淤积(血浆体)。 Enhanced Chemical Vapor Deposition,简化 无固定形状的碳膜淤积转换中间的PECVD洗涤方式。
[安排技术]
〔0002〕在不变的使习惯于下,物质的化学组成气相淤积法在硅片上淤积薄膜,施恩惠对腔体举行预洗涤。,去除渐渐高处在蛀牙中间的薄膜和粒子。在洗涤转换中,率先,腔室需求使清洁的人或物毒气。,诸如,NF3。血浆体周围中间的毒气NF3,电离化出氟水合氢并与腔身体的和加热的人(Heater)上的淤积膜反照尝试含氟毒气后,被泵抽走,到达洗涤蛀牙的目标。。
〔0003〕无固定形状的碳膜(无固定形状的) carbon film,短APF淤积机,在血浆洗涤转换中,也将拜候02,与剩余碳膜反照排队CO2,起到洗涤蛀牙的功能。。而且,在洗涤后来地,为了使在室内运用的空气近亲DEP的真实周围,通常需求淤积床周围(季)狱吏。,缩减颗粒(颗粒)落在刻(刻)上的概率。预洗涤术语与环保膜淤积PR 处方)顺序中间的两个首要踏。
[0004]眼前,无固定形状的碳薄膜淤积制程中间的环保薄膜术语方式有两种:一种可以采取在环保薄膜术语转换中包罗氮气,掺氮环保膜技术(N掺杂) 季)。诸如,敷用药推论的(AMAT)公司供奉的使清洁的人或物方式(BKM) clean 处方中),环保膜技术(季) 转换中运用的反照毒气包罗C2H2。、N2和Ar。空谈N2的在可高处环保的附着性。
[0005]洗涤毒气NF3在血浆场中发作的氟水合氢与加热的人习惯于推论的AlN发作反照,在加热的人的面对上排队床AlxFyOz薄膜。。洗涤后的蛀牙,N2和C2H2毒气环保膜技术,在AlxFyoz上淤积了床非晶硅。。只是,毒气N2会与AlxFyOz发作反照。,A1N的沉淀,去,环保膜的面对牵制矾土。。当硅片进入开车时,无固定形状的碳膜是,硅片与环保膜的接触到,形成铝玷污的反面晶圆一朝分娩超越。
[0006]在运用敷用药推论的无固定形状的碳膜(APF)可保存的淤积APF薄膜时,全X射线反照荧光性受试验(TXRF)被发现的人了硅片反面金属铝使满意重大的超载了业界的基准,表1(产业基准:铝(/CM2))如次。,否则金属 <5E10A/cm2)。
[0007]
[原告]
1.一种无固定形状的碳淤积术语的洗涤方式,其特点位于,包罗在血浆条款对血浆腔体举行预洗涤术语踏SI和对血浆腔体淤积环保薄膜术语踏S2 环保膜的术语踏S2包罗以下踏: 踏S21:将牵制C2H2。、Ar和He的毒气被送入血浆体室。,淤积了具有率先厚度的氮掺杂无固定形状的碳膜。; 踏S22:将牵制C2H2和N2的毒气送入血浆体室。,具有第二的厚度的氮掺杂无固定形状的碳膜层为GRO。;内部的,所述第二的厚度决不率先厚度。。。
2。在加标题问1中作为示范的使清洁的人或物方式。,其特点位于,率先厚度扣押为2000~400 0A。 第二的厚度扣押为IOAO~200 A。。
三。在加标题问2中作为示范的使清洁的人或物方式。,其特点位于,率先厚度为300A,第二的厚度为150 A。。
4。在加标题问1中作为示范的使清洁的人或物方式。,其特点位于,在踏S21,术语制约为:无线电频率功率为1300~1700瓦。,压力,毒气C2H2流量是1400~1600 SCCM。,AR流量是11000~9000SCCM。, HE流量为350~450SCCM。。
5。在加标题问4中作为示范的使清洁的人或物方式。,其特点位于,在踏S21,术语制约如次:无线电频率功率1500 W。,压力,毒气C2H2流量是1500 SCCM。,毒气氩气流量为,毒气 He 流量是 400sccm。
6。在加标题问1中作为示范的使清洁的人或物方式。,其特点位于,在S22的踏中,术语制约为:无线电频率功率为1300~1700瓦。,压力为,毒气C2H2流量是1400~1600 SCCM。,N2流量是7000~9000sccm。
7。在加标题问6中作为示范的使清洁的人或物方式。,其特点位于,在S22的踏中,术语制约如次:无线电频率功率1500 W。,压力为,毒气C2H2流量是1500sCCm,毒气N2流量是8000sccmo
8。在加标题问1中作为示范的使清洁的人或物方式。,其特点位于,踏SI包罗以下踏 踏SLL:将含NH3的毒气送入血浆体室。,血浆体周围中间的毒气NF3,氟化物水合氢被电离化并与淤积的膜在CAV上反照。; 踏S12:将牵制O2的毒气送入血浆体室。,O2与壁上残留的碳膜反照排队泵送CO2。。
【文档编号】B08B9/08GK103526177SQ201310461217
[吐艳日] 2014年1月22日 勤勉日期:2013年9月30日 概要的日期:2013年9月30日
[捏造:内心捏造的东西家]童蕾, 桑宁波, 贺忻 勤勉人:上海华力微电子有限公司。

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